ドライケミカルズの新技術!
【ウェーハ外周の面取りはウェーハスライス前にインゴットの状態でバッチ処理】
SiCインゴット外周へ溝を形成
ワイヤーに対し溝入れしたインゴットを
平行にセットしスライス
スライス終了と同時にウェーハ外周の
面取りが完了